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15 시리즈는 최대 28,300SLPM의 초고유량 설비용으로 설계되었습니다. 15 시리즈는 초고순도, 10 Ra, 벌크 가스 감압 조절기입니다. 입구 압력은 300psig/20.7bar이고 출구 압력은 최대 150psig/10.3bar입니다. 전기-공압식 제어 옵션을 사용할 수 있으며 시설의 벌크 가스 공급에 사용하기에 이상적입니다.