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Tescom-P-64-3600

TESCOM™ 64-3600 시리즈 고감도 압력 조절기

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선정 제품 설명

64-3600 시리즈 초고순도, 고감도 감압 조절기는 적은 압력 저하, 결합된 다이어프램 구조, 10 Ra / 0.25마이크로미터 표면 마감 및 Hastelloy®트림을 제공합니다. 인입구 압력은 600 또는 3500psig / 41.4 또는 241bar이며, 배출구 압력은 최대 150psig / 10.3bar입니다. 1/4" POU, 가스 캐비닛, 반도체 제조, 밸브 매니폴드 박스에서 사용하기에 이상적입니다.

사양

압력 등급
최대 인입구 압력: 600 또는 3500psig / 41.4 또는 241ar
배출구 압력 범위: 30, 60, 100, 150psig / 2.1, 4.1, 6.9, 10.3bar
바디 재질
316L 스테인리스 강 전해 연마 또는 316L VAR 스테인리스 강 전해 연마
다이어프램
Hastelloy®
밸브 시트
PCTFE, Teflon PFA® 또는 Vespel®
스템 및 밸브 스프링
316 스테인리스강
나머지 부품
316 스테인리스 강 또는 Hastelloy®
작동 온도
Teflon® PFA 시트: -40~160°F / -40~71°C
Vespel® 시트: -40~350°F / -40~177°C
PCTFE 시트: -40~140°F / -40~60°C
포트 크기 및 유형
1/4, 1/2
수형 스위블, 암형 스위블, 수형 고정, HPIC
1/4 튜브 스터브
유동 용량
Cv = 0.15 또는 0.06
무게
2lbs / 0.9kg
추가 정보
맞춤 개조나 완전한 시스템 솔루션에 대해서는 해당 지역 영업 사무소에 문의하십시오.

특징

  • 10 Ra 마이크로인치 / 0.25마이크로미터 내부 표면 마감
  • 금속-금속 씰(높은 누설 무결성을 위한 다이어프램-본체 씰)
  • 완전한 내부 전해 연마도 제공합니다.
  • 반도체 가스 시스템에서 압력 변동을 줄이도록 설계되었습니다.
  • POU(사용점)에 대한 엄격한 반도체 요구 사항을 충족합니다.
  • 실린더 설비

문서 및 도면